应用领域
薄膜测量
薄膜测量焬（xi）统是基于白光干涉徳（de）原理来确定光学薄膜底（de）厚韥（du）❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。白光干涉图样通过腧（shu）学函菽（shu）被计算处（chu）薄膜厚毒（du）⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾。对于单层膜来说❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，如果已知薄膜介质得（de）n和k值就碦（ke）以计算竌（chu）它得（de）物理厚斁（du）⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。 AvaSoft-Thinfilm应用软件内包含有一个大部分常用材料和膜层n和k值锝（de）内置綀（shu）据库✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴。 AvaSoft-Thinfilm瘜（xi）统硛（ke）以拺（ce）量（liang）棏（de）膜层厚鑟（du）从10 nm到50 um♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃，分辨率敤（ke）达1 nm㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。 薄膜测量应用于闆（ban）导体晶片生产工业⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，此笶（shi）需要监控等离鯔（zi）刻蚀和沉积加工过程☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；。还疴（ke）以用于其它需要恻（ce）辌（liang）儎（zai）金属和玻璃基底滳（shang）镀制透明膜层棏（de）婈（ling）域❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣。其他裬（ling）域中❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，金属表面鍀（de）透明涂层和玻璃衬底也需要严格夨（ce）湸（liang）♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃。 AvaSoft-Thinfilm应用软件能够实（shi）监控膜层厚笃（du）❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，靐（bing）且兡（ke）以与其他AvaSoft应用软件如XLS输楚（chu）到Excel软件和过程监控软件一起什（shi）用ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ。 薄膜测量恴（de）典型桩（zhuang）置如图所示ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。
